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シリコン、サファイア、水晶、石英などの超精密洗浄からエッチング処理、工程内キャリア、FOUP、チップトレイ、流体機器など半導体装置パーツの精密洗浄。
ウェットステーション
(カセットレスタイプ)
ウェットステーション
ウェットステーション(カセットレスタイプ) ウェットステーション
小型ウェットステーション
 
小型ウェットステーション  
【超精密分野】
日進月歩の技術革新を繰り広げるエレクトロニクス産業においては、半導体ウエハーをはじめ液晶ディスプレー、マスクガラス、水晶など、特に超精密洗浄を必要とする基幹アイテムは数多く存在します。

しかも、ハイテクレベルの向上とともに、その洗浄ニーズはますます高品質、高洗浄度化し、高性能の装置が求められています。

J.P.C では、ハイグレード製造用クリーンルームを保持し、お客様のニーズを満たすべく、クリーンで超精密な装置製造に日々挑戦し続けております。
洗浄装置

 

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